जनकUHV deposition system
Ebeam-sputter
मशीन के बारे में जानकारी
मूल्य और स्थान
- स्थान:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland
प्रस्ताव का विवरण
- विज्ञापन आईडी:
- A16976251
- अद्यतन:
- अंतिम बार 02.09.2024 को
विवरण
UHV deposition system:
Was used for deposition Titanium - Gold (ebeam)
Ebeam deposition unit is removed
Cryopump and prepump is removed
Loadlock:
for samples round 75mm
Incl. sample heater
Hnodpfx Aouhcn Nocyew
450l/s turbomolecular pump (Leybold)
Proceschamber:
Size: Width 680mm x Height 750mm x Depth 590mm
Incl. shielding
Double oring door (partially pumped)
Heaters
Basepressure low 10-7mbar, high 10-8mbar
Electronics:
Baseline cabinet (e-beam unit removed)
Old PLC (for pump/vent)
Gas cabinet/water:
Various valves/flow reducers for gas and water
Note: D&M Vacuumsystems can upgrade the system to new processes (E-beam or Sputter) incl. new electronics and software.
EUR 55.000,-
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आपूर्तिकर्ता
से पंजीकृत: 2019
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